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晶元半導(dǎo)體檢查顯微鏡

設(shè)備型號:MX8R

發(fā)布時間:2024-06-24

簡要描述:

MX8R晶元半導(dǎo)體檢查顯微鏡各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),最大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì),可對系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。

無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭

ETTR 型正像鉸鏈三目觀察頭,所成像的方位與物體實(shí)際方位一致,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于使用者觀察與操作。

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MX8R各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),最大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì),可對系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。

無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭

ETTR 型正像鉸鏈三目觀察頭,所成像的方位與物體實(shí)際方位一致,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于使用者觀察與操作。

長工作距金相物鏡

全新設(shè)計(jì)的長工作距物鏡,采用半復(fù)消色差技術(shù),其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù),使整個視場內(nèi)的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。長工作距設(shè)計(jì),50X 物鏡的有效工作距離 7.9mm,100X 物鏡的有效工作距離也達(dá)到了 2.1mm,更有20X 超長工作距金相物鏡,大幅拓展了 MX 機(jī)型的應(yīng)用領(lǐng)域。同步設(shè)計(jì)了全套明暗場兩用物鏡,適用于MX8R 機(jī)型,暗場照明亮度比傳統(tǒng)暗場物鏡提高 2 倍以上。

高性能物鏡轉(zhuǎn)換器

MX 機(jī)型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制,根據(jù) MX 系列機(jī)型配置及功能的不同,可以選擇不同型號的轉(zhuǎn)換器。

明暗場反射照明器
帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調(diào) ;帶明暗場照明切換裝置,適用于MX8R/MX8RT機(jī)型。

豐富的觀察方式,滿足您的檢測需求

明場觀察:遠(yuǎn)心柯拉反射照明系統(tǒng),配以全新設(shè)計(jì)的無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質(zhì)顯微圖像。

暗場觀察:將暗場照明拉桿拉到zhi定位置,即可使用暗場功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質(zhì)點(diǎn)及其他細(xì)微缺陷。內(nèi)置衰減片,減少明暗場切換時光線劇烈變換對眼睛的刺激。

簡易偏光觀察:將起偏鏡及檢偏鏡插板插入照明器的zhi定位置,即可進(jìn)行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和 360°旋轉(zhuǎn)式兩種。

DIC 微分干涉觀察:在正交偏光的基礎(chǔ)上 , 插入 DIC 棱鏡,即可進(jìn)行 DIC 微分干涉觀察。使用 DIC 技術(shù) , 可以使樣品表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。可匹配帶 DIC 功能的物鏡,使整個視場的干涉色一致,微分干涉效果非常出色 , 高倍物鏡 DIC 效果也較好。

附件:       攝影 / 攝像附件:在三目觀察筒上,可以配接攝影攝像裝置,將雙目觀察到的圖像輸出至監(jiān)視器或計(jì)算機(jī),進(jìn)行圖像分析、處理、保存或傳送。使用專用的 C 接口與中繼鏡,可以和數(shù)碼相機(jī)聯(lián)接,快速進(jìn)行拍照,并獲取圖像。

多種干涉濾色片可選:   使用 12V100W 鹵素?zé)魰r照明時,可以選擇 LBD 日光型濾色片,能將光線過濾成自然日光的顏色,圖像背景柔和亮白。根據(jù)具體工業(yè)檢測的需要,可以選擇其他顏色的濾光片來對光線光譜進(jìn)行調(diào)節(jié),以獲得滿意的圖像效果。
                                                   

詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

 

型號

MX8R

MX8RT

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng)

觀察筒

30°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100(支持 25/26.5mm 視場)

30°傾斜,倒像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,三檔分光比 0:100 ;20:80 ;100:0(支持 25/26.5mm 視場)

5-35°傾角可調(diào),正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,單邊視度調(diào)節(jié):±5 屈光度,兩檔分光比 100:0 或 0:100(支持 22/23/16mm 視場)

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/22mm,可帶測微尺,可選視度可調(diào)

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/23mm,視度可調(diào)

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶刻度十字分劃板

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/26.5mm,視度可調(diào),可帶刻度十字分劃板

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL15X/16mm

物鏡

長工作距平場明暗場消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X)

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X)

超長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡(20X)

轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位五孔明暗場轉(zhuǎn)換器,帶 DIC 插槽

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng),帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭。

透、反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置 . 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),5W 暖色LED透射光照明系統(tǒng),上下光獨(dú)立可控

載物臺

6 英寸三層機(jī)械移動平臺,低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ;平臺面積 445mm×240mm,反射照明移動范圍 :158mm×158mm ;透射照明移動范圍 :100×100mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ;玻璃載物臺板(透、反射用)

照明系統(tǒng)

明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像

0.35X/0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ;反射用干涉濾色片組;高精度測微尺;DIC 微分干涉組件。


 

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